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氣載微業(yè)潔凈等級(jí)(ISO 14644-1)

發(fā)布時(shí)間: 2014-09-16  點(diǎn)擊次數(shù): 1132次

SO Classification Number

Maxlmum Concentrationlimit(particles/M3of air)
equal to or larger than considered sizes shown bolew

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1um

5um

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10

2

 

 

 

 

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10

4

 

 

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